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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
CVD氣相沉積系統(tǒng)
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晶圓級PECVD氣相沉積設(shè)備大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備包括三溫區(qū)管式爐,特殊設(shè)計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備CVD設(shè)備通過特殊設(shè)計的管路,能夠?qū)⒎磻?yīng)氣體均勻的釋放于爐管。
TEL:4008751717,865
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