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產(chǎn)品型號:CY-MSH325-5KG
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
更新時間:2026-08-12
訪 問 量:98產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | CYKY | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體,機械設(shè)備 | 腔體尺寸 | 325mm×H420mm |
| 腔體旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速 | 0~20rpm 變頻連續(xù)可調(diào) | 控溫精度 | ±1℃ |
| 標(biāo)配靶頭數(shù)量 | 單靶 | 適配靶材 | 各類金屬、合金、陶瓷、氧化物靶材 |
| 標(biāo)配電源 | 1臺多弧電源 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
| 極限真空度 | 5×10?? Pa | 基礎(chǔ)工作氣體 | 高純氬氣 |
一、設(shè)備簡介
5Kg粉體磁控濺射鍍膜儀是大容量粉體顆粒專用真空 PVD 包覆設(shè)備,專為單次裝載 5kg 粉末物料設(shè)計,依托磁控濺射物理氣相沉積原理,配合腔體旋轉(zhuǎn)、粉體翻滾振動機構(gòu),讓粉體顆粒持續(xù)翻動、滾動,在每一顆粉體表面均勻沉積金屬、合金、陶瓷、氧化物納米薄膜;全程高真空密閉環(huán)境,薄膜致密、厚度可控、包覆均勻無團聚,適配科研小批量中試、新材料改性制備場景,由鄭州成越科學(xué)儀器研發(fā)生產(chǎn),兼顧實驗室研發(fā)與小批量試制需求。
二、主要用途
粉體顆粒表面包覆改性:微米 / 納米粉末外包覆導(dǎo)電層、抗氧化層、防腐層、絕緣層、催化層、抗菌層;
解決粉體痛點:粉體易氧化、團聚、導(dǎo)電性差、分散性不佳、界面相容性弱等問題;
可制備單層膜、多層復(fù)合膜、合金共濺射薄膜;
粉體樣品 SEM 電鏡導(dǎo)電鍍金、鍍銀制樣;
新材料配方工藝摸索、小批量中試包覆生產(chǎn)。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
新能源材料:鋰電池正負極粉體、硅碳負極、石墨粉體包覆金屬 / 碳基薄膜;固態(tài)電解質(zhì)粉體改性、超級電容器電極粉體制備;
催化材料:催化劑粉末表面貴金屬(Pt、Ag、Au)包覆,提升催化活性與穩(wěn)定性;
粉末冶金 / 金屬粉體:鐵粉、鋁粉、合金粉抗氧化鍍層,提升粉體存儲與燒結(jié)性能;
生物醫(yī)藥:藥用粉體、羥基磷灰石粉體鍍銀抗菌涂層,生物陶瓷粉體表面改性;
光電與傳感器:熒光粉、發(fā)光粉體、光學(xué)微球表面光學(xué)薄膜包覆;氣敏傳感粉體敏感層制備;
復(fù)合材料填料:二氧化硅、氧化鋁、碳化硅無機填料金屬化包覆,提升樹脂、橡膠界面結(jié)合力;
科研理化測試:各類粉末掃描電鏡(SEM)導(dǎo)電鍍膜制樣。
四、標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 5Kg粉體磁控濺射鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSH325-5KG | |
粉體承載腔體系統(tǒng) | 腔體尺寸 | Φ325mm×H420mm,304 不銹鋼一體成型 |
腔體旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速 | 0~20rpm 變頻連續(xù)可調(diào) | |
控溫精度 | ±1℃ | |
結(jié)構(gòu)配置 | 內(nèi)置攪拌打散條,防止粉體堆積包覆不均 | |
觀測部件 | 石英可視觀察窗 | |
多弧等離子靶體配置 | 標(biāo)配靶頭數(shù)量 | 單靶 |
靶頭規(guī)格 | 圓柱形靶材:鎳靶材,φ100X40 | |
適配靶材 | 各類金屬、合金、陶瓷、氧化物靶材 | |
標(biāo)配電源 | 1臺多弧電源 | |
可選電源 | 直流電源,濺射電源 | |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
真空機組系統(tǒng) | 極限真空度 | ≤5×10?? Pa |
多弧工作氣壓 | DC:0.1~0.5Pa;RF: | |
抽氣組合 | 650L/s 渦輪分子泵 + 無油前級真空泵 | |
整機靜態(tài)漏率 | <1×10?? Pa·m3/s | |
氣路供氣系統(tǒng) | 基礎(chǔ)工作氣體 | 高純氬氣 |
可選反應(yīng)氣體 | 氧氣、氮氣 | |
氣體控制 | 高精度質(zhì)量流量控制器,量程 0~500sccm | |
整機測控系統(tǒng) | 操控方式 | PLC+10 英寸觸摸屏全自動程控 |
工藝存儲 | 可存儲上30套鍍膜工藝配方 | |
選配配件 | 石英晶體膜厚儀,膜厚分辨率 0.1? | |
安全防護 | 缺水、過壓、過流、真空聯(lián)鎖全套報警保護 | |
整機基礎(chǔ)參數(shù) | 輸入供電 | AC380V/50Hz |
整機額定功率 | 5KW | |
設(shè)備外形尺寸 | 1100mm×920mm×1300mm | |
整機凈重 | 580Kg | |
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