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產(chǎn)品型號(hào):CY-CVD1200-60-3TH-Q
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間:2025-11-17
訪 問 量:329產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY |
|---|
1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD氣相沉積系統(tǒng)安裝有投料器和收料罐。1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)投料器可以以額定速率將粉料送入爐管,可實(shí)現(xiàn)在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)處理好的料粉進(jìn)行收集。
1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)自動(dòng)進(jìn)出料CVD系統(tǒng)廣泛用于燒結(jié)無機(jī)化合物,通過機(jī)械傳動(dòng)控制工作管能360°不間斷旋轉(zhuǎn),使得管內(nèi)物料攪拌混合獲得均勻受熱效果。
此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時(shí)也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。
1200℃三溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐
| Max功率 | 4.5kw | |
爐管材質(zhì) | 外管不銹鋼,內(nèi)管石英 | ||
爐管直徑 | 兩端60mm,中間100mm | ||
爐管長度 | 1640mm | ||
爐膛長度 | 1060mm | ||
加熱區(qū)長 | 200mm+200mm+200mm | ||
恒溫區(qū)長 | 200mm | ||
工作溫度 | 0~1100℃ | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
控溫模式 | 30段或50段程序控溫 | ||
顯示模式 | LCD | ||
密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | ||
法蘭接口 | 1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
傾斜角度 | 0~15° | ||
轉(zhuǎn)速 | 0~20轉(zhuǎn) | ||
供 氣 系 統(tǒng) | 產(chǎn)品型號(hào) | CY-3F | |
氣體通道 | 3通道 | ||
測(cè)量部件 | 氣體浮子流量計(jì) | ||
測(cè)量量程 | A通道:0~100ml/min H2氣 | 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。 | |
B通道:16~160ml/min N2氣 | |||
C通道:25~250ml/min Ar氣 | |||
測(cè)量精度 | ±2.0% | ||
管道耐壓 | 3MPa | ||
工作壓差 | 50~300KPa | ||
連接管道 | 304不銹鋼 | ||
控制閥門 | 304不銹鋼針閥 | ||
接口規(guī)格 | 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 | ||
排 氣 系 統(tǒng)
| 機(jī)械泵 | 旋片泵 | |
抽氣速率 | 1.1L/S | ||
排氣接口 | KF16 | ||
真空測(cè)量 | 電阻規(guī) | ||
極限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供電電源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽氣接口 | KF16 | ||
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