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產(chǎn)品型號(hào):CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間:2025-11-17
訪 問(wèn) 量:158產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | CYKY | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
本產(chǎn)品為桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源,各蒸發(fā)源分別供電,可交替開(kāi)啟也可同時(shí)開(kāi)啟;每個(gè)蒸發(fā)源可提供最大100A的鍍膜電流,最大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃,能夠滿足各種常見(jiàn)金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍,因此被廣泛用于電極的制備和有機(jī)物發(fā)光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作,配合分子泵組可達(dá)到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境。兩組蒸發(fā)源對(duì)稱放置,每個(gè)蒸發(fā)源均具有單獨(dú)的擋板,可保證鍍膜過(guò)程中不被污染。
產(chǎn)品名稱 | 桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS | |
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | 直徑φ60mm |
轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
至蒸發(fā)源間距 | 60~100mm 連續(xù)可調(diào) | |
熱蒸發(fā)源 | 配 2 個(gè)鎢舟、2個(gè)鎢絲籃 | |
蒸發(fā)電源 | 2個(gè),每個(gè)蒸發(fā)源均配擋板 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ170mm,高度210mm |
觀察窗口 | 直徑φ60mm | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
開(kāi)啟方式 | 上開(kāi)啟式 | |
膜厚測(cè)量 | 晶體膜厚測(cè)量?jī)x(也可選膜厚控制儀) | |
真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | AC220V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 600mm×600mm×750mm | |
整機(jī)功率 | 1200W | |
整機(jī)重量 | 40kg | |
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