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凈化型勻膠機廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此設(shè)備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠；是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作。

本型號防腐型聚四氟腔體勻膠機經(jīng)過小型化設(shè)計，整體采用鋁合金結(jié)構(gòu)，防腐型聚四氟腔體，外觀美觀堅固。儀器采用的精密電機，最高轉(zhuǎn)速能達到10000轉(zhuǎn)/秒；控制依靠按鍵和高亮液晶屏，除直接勻膠外還能預(yù)存勻膠曲線進行程控勻膠。本儀器在極大的減小了體積的前提下有效的保障了儀器性能和功能，十分適合實驗室選購。

不銹鋼腔體八英寸勻膠機旋涂儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域

托盤定位勻膠機旋涂儀可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。

全自動超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉(zhuǎn)使得膠液均勻涂覆在基片上。加熱勻膠機也可以單獨進行旋涂操作。

紫外線光固化勻膠機配有紫外線光源，能夠?qū)崿F(xiàn)對特殊膜料的固化功能，真空吸附固定，操作簡單，可自由取放。