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產(chǎn)品型號:CY-MS
廠商性質:生產(chǎn)廠家
更新時間:2025-11-17
訪 問 量:453產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | CYKY | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
設備用途:
CY-MS磁控濺射鍍膜儀用于在晶體硅表面沉積金屬薄膜(Al、Ag、Ni、Cu、Ti、Pd等),并能夠實現(xiàn)反應濺射,可完成高、低真空下磁控濺射鍍膜工藝,具備較大尺寸和多種尺寸規(guī)格的晶體硅光伏電池薄膜的連續(xù)制備能力。
磁控鍍膜儀典型應用:
• 科研領域:納米材料、薄膜器件、光學涂層等研究。
• 電子行業(yè):半導體、傳感器、導電薄膜制備。
• 教學演示:材料科學、真空技術實驗教學。
• 以下是磁控鍍膜儀的典型實用案例,涵蓋科研、工業(yè)及教學領域,體現(xiàn)其多功能性和廣泛應用價值。
技術參數(shù):
| 型號 | CY-in-line | |
| 主濺真空室 | 方形真空室,尺寸Ø 1000×700×350mm | |
| 進樣室 | 圓筒型,臥室,尺寸Ø 250×420mm | |
| 真空系統(tǒng)配置 | 分子泵與機械泵,閘板閥 | |
| 極限壓力 | 主濺射室 | ≦8*10-5Pa(經(jīng)烘烤除氣后) |
| 進樣室 | ≦6.6*10-4Pa(經(jīng)烘烤除氣后) | |
| 恢復真空時間 | 主濺射室 | 40分鐘可達到6.6*10-4Pa(系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣) |
| 進樣室 | 40分鐘可達到6.6*10-3Pa(系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣) | |
| 磁控靶組件 | 矩形靶尺寸約450*45mm;靶與樣品距離80mm可調
| |
| 基片加熱臺 | 基片結構 | 尺寸125*125mm或156*156mm,可一次安裝4片樣品 |
| 加熱溫度 | 室溫~400C±2 C,可控可調 | |
| 氣路系統(tǒng) | 質量流量控制器3路 | |
| 設備占地面積 | 主機 | 2655 * 930mm2 |
| 電控柜 | 700 *700mm2(兩個) | |
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